다층 레지스트법 - multilayer resist method

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

여러 종류의 레지스트를 다층으로 도포․형성함으로써, 레지스트표면을 평탄화하고, 레지스트층의 안이나 기판표면에서의 빛 또는 전자선의 반사․산란효과를 감소시켜, 해상도를 향상시키는 방법.