멀티 다이 레티클 - multi - die reticle

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

스테퍼의 쓰루풋(throughput)을 향상시키는 것을 목적으로, 다이(팁tip)를 여러 면 붙인 레티클. 붙이는 면의 수는 1샷(shot)의 노광범위에 한정된다. 이것과 대비하여 다이를 1개만 붙인 것을 싱글 다이 레티클(single die reticle)이라 한다.

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