연속어닐 - multi cycle annealing

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

어닐챔버 안에서 어닐링할 웨이퍼에 여러 조건의 어닐링을 연속적으로 하는 것. 온도 또는 분위기의 가스종류를 바꾸어 실행된 확산층 또는 박막의 구성을 제어할 수 있다.