마우스홀 - mouse hole

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

소자패턴의 단차부(step)에 박막을 형성시킬 때, 측벽과 평면의 막질이 달라서, 이후의 식각공정에서 부분적으로 높은 속도로 식각이 진행되어 발생하는 벌레먹은 모양의 구멍