기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'
미러투영 노광장치 - mirror projection aligner
작성자:
MidasIT 반디통
| 2021. 8. 5 오후 3:00:00
투영광학계에 미러(mirror)를 장착한 노광장치.
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