최소도형 단위 - minimum feature size

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

묘화의 결과로 얻어지는 레지스트 또는 에칭 상(image)의 패턴에서, 원하는 도형을 얻을 수 있는 최소한의 단위.