패턴의 치수와 비슷하거나 작은 패턴결함. 에지결함․코너결합․고립결함․패턴누락․패턴위치부정합 등이 있다. 투명결함(백결함)․불투명결함(흑결함)․반투명결함(회색결함)으로 구분된다. ①코너 빠짐 ②코너 돌기 ③핀 도트(pin dot, pinspot, 섬) ④핀홀 ⑤관입(intrusion) ⑥mouse-nip(rotbite) ⑦돌출(extension, protrusion) ⑧테두리거칢(edge roughness)⑨브리지(bridge, short) ⑩절단(break, slit) ⑪패턴누락(pattern missing)