미소치수측정기 - micro pattern measurement system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

포토마스크의 패턴치수를 측정하는 측정기. 텔레비젼 카메라의 비디오 신호를 이용하는 방식. 레이저 반사신호에 의한 방식, 투과광신호에 의한 방식. 전자빔에 의한 방식 등이 있다.