MOCVD 장치 (유기금속 CVD장치) - metal organic CVD system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

유기금속화합물의 열분해반응을 이용하여 화합물 반도체막을 만드는 CVD장치. 기상 에피택셜성장법에 의해 화합물 반도체단결정을 성장시키는 MOVPE장치와는 구별되지만, 장치의 구성에는 유사한 점이 많다.