기계적 스캔 - mechanical scan

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

이온빔을 고정하고, 웨이퍼를 여러 장 장착시킨 디스크를 X, Y방향으로 운동시켜 주입균일성을 얻는 주사방식. 회전디스크를, 상하가 없이, 좌우로 병진운동시키는 것이 일반적이다.