마스크비교기 - mask comparator

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

좌표마스크와 검사하려는 마스크를 직접 비교하여 마스크의 패턴결함 및 패턴 정밀도를 검사하는 장치.