마랑고니 건조 - marangoni drying

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

린스조에서 웨이퍼를 적당한 속도로 끌어올리면서 IPA 증기를 포함하는 질소가스를 불어넣어 실온에서 건조하는 방법. 끌어올려지는 웨이퍼가 수면과 일치할 때에 만들어지는 메니스커스(meniscus, 기체액체경계면과 웨이퍼면과의 교차부에 만들어지는 만곡면부분)의 물에 IPA이 용해되면서 표면장력이 떨어져, 웨이퍼가 물에 적셔지지 않게 되는 마랑고니효과를 이용한다. IPA소비량이 적고, 워터마크가 생기지 않는 특징이 있다.

전체 게시물 보기