마그네트론 스퍼터링 장치 - magnetron sputtering system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

전계와 교차하는 자계를 인가하면, 음극에서 나온 전자가 토로이달(toroidal)운동을 하여, 타겟 위에 고밀도 플라즈마를 만들고, 비교적 저전압에서 스퍼터링 속도를 높일 수 있다. 페닝 마그네트론을 응용했으므로 마그네트론이라 부르며, 같은 원리의 장치로 직교전자계형 스퍼터링장치라고도 한다.

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