자기장 마이크로파 식각장치 - magneto - microwave plasma etching system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

마이크로파와 자기장에 의해 고밀도 플라즈마를 발생시키는 이온원을 이용하여, 반응성가스 이온과 중성라디칼을 생성하고, 웨이퍼에 조사하여 식각하는 반응성이온빔 식각장치.