자기부상 반송 - magnetic levitation transfer

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

자기(磁氣)반발력을 이용한 비접촉반송기구. 자기부상을 제어하는 제어전자석 및 선형 모터와 부상체(浮上體)로 구성되며, 마스크, 웨이퍼 등의 기판은 부상체 위에 탑재되어 이동된다. 진공중에서 사용할 경우, 비접촉이고, 접어서 사용하지 않으며, 윤활유도 필요없어 먼지가 전혀 발생하지 않아, 더스트프리(dust free)반송, 청정진공(clean vacuum)을 얻는 등의 큰 이점이 있다.

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