거시적결함 - macroscopic defect

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

패턴 치수로 비교할 때, 충분히 큰 다이 결함. 패턴의 찌그러짐, 큰 위치 부정합 등이 있다.