저가속관찰 - low voltage observation

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

낮은 가속전압에 의한 SEM 관찰법. 가속전압을 낮게 하면, 이차전자의 방출효과가 커져 차지업이 작기 때문에, 시료표면에의 충실도가 높게 관찰할 수 있다.