저온 식각 - low temperature etching

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

수직의 패턴 모양과 높은 식각선택비를 얻기 위해, 보통의 건식식각의 처리온도보다 낮은 온도(0。C이하)에서 처리하는 식각.