저압CVD 장치 - low pressure CVD system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

반응실 안이 저압(감압)상태로 유지되는 CVD장치. 웨이퍼 표면에서 균일하게 반응이 일어나고, 단차 피복성(step coverage)가 비교적 양호하다.