저압 원격 스퍼터링 - long throw sputtering

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

밑면 피복성(bottom coverage)을 향상시키는 한 방법으로, 스퍼터입자의 수직성분만이 기판에 도달하도록 타겟과 기판 사이의 거리를 두어, 저압에서 안정하게 방전하는 스퍼터링방법.