LTV - local thickness variation

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

사이트 TIR의 하나로, 흡착고정 등에 의해, 웨이퍼 뒷면을 교정한 상태에서, 각 사이트마다 측정할 때의 최대두께와 최소두께의 차.