로딩 효과 근접효과 - loading effect proximity effect

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

동일 웨이퍼 위에, 동일 선폭으로 밀도(스페이스)가 다른 레지스트 패턴을 형성할 때, 스페이스의 간격에 의해, 선폭이 변동하는 현상.