액체소스 공급장치 - liquid source delivery system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

Si, 금속화합물 등의 액체 소스를 기화시켜 반응실에 일정량을 공급하는 장치. 관용적인 의미의 버블링(bubbling)법. 공급량을 기화가스의 유량으로 제어하는 방법(직접법, direct method)과 액체의유량으로 제어하고, 이후에 기화하는 방법이 개발되어, 반응실의 압력조건과 액제소스의 증기압에 의해 사용법이 나뉜다.

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