액상 에피택셜 성장장치 - liqiud phase epitaxial growth system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

성장에 쓰이는 재료를 과포화한 용액 중에 단결정의 시드(웨이퍼)를 접촉시켜, 양자 간에 온도를 균일하게 배분하여, 웨이퍼표면에 에피택셜층을 성장시키는 장치.