단위보정 - line width control

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

패턴 데이터 위의 선폭과 마스크 위에 형성된 패턴의 선폭의 차이를 보정하는 것으로, 패턴 데이터 자체를 보정하거나, 노광, 공정조건의 제어를 통해 보정하는 것.