선폭․좌표측정장치 - line width and coordinate measurement

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

마스크 위에 형성된 패턴의 짧은 수치단위(선폭) 또는 긴 수치단위(좌표)를 측정하기 위한 장치인데, 광학식․전자빔식이 있다.