선폭정밀도 - line width accuracy

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

선 패턴을 웨이퍼 위에 노광 전사 후, 현상하여 얻어지는 레지스트 위의 선폭의 정밀도.