광산란법 - light scattering

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

강한 빛을 쏘아, 부유미립자, 웨이퍼의 결함 및 부착미립자 등에서의 산란광을 수광소자와 광전관으로 감지하여, 전기적인 펄스로써 미립자 등의 갯수를 계측하는 방법.