렌즈투영 노광장치 - lens projection aligner

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

투영광학계가 굴절계로 구성되어 있는 노광장치. 투영광학계에 축소광학계를 채용한 것을 레이저축소 투영노광장치, 또 투영광학계에 등배(等倍)의 투영광학계를 채용한 것을 렌즈등배 투영노광장치라고 한다.