LSTD - laser scattering tomography defect

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

레이저 산란 토모그래피법에 의해 검출되는 Si 웨이퍼 속의 미소결함. Si 매트릭스와 미소결함과의 굴절률 차이를 기초로 하여 광산란을 검출한다. 미소한 산소석출물과 공극의 응집체를 미소결함으로써 검출할 수 있다.