기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'
광파간섭식 좌표측정기 - laser interfero - metric coordinate measure - ment system
작성자:
MidasIT 반디통
| 2021. 8. 5 오후 3:00:00
레이저 간섭계로 위치좌표를 읽어들일 수 있는 정밀한 X-Y 스테이지계와 마스크 등의 패턴에지를 검출계를 갖는 선폭, 좌표측정장치.
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