레이저 어닐장치 - laser annealer

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

레이저광을 조사한 웨이퍼표면, 또는 웨이퍼 위에 형성된 박막을 국부적으로 단시간에 열처리하는 장치. 레이저조사의 수단으로써, 펄스 레이저 어닐장치, CW 레이저 어닐장치로 구분된다.