카이네틱 커플링 - kinetic coupling

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

(탑재대 위에) 볼록한 모양의 3차원 곡면을 갖는 핀 3개를 삼각형의 세 정점에 위치하도록 배치하며 이 핀에, 탑재물에 설계된 세 개의 역V자 형의 홈을 끼워 위치결정을 하는 기구. 300㎜ 웨이퍼 반송기에 이용된다. 결정할 수 있는 범위가 넓고, 자동적으로 중심을 찾으므로 위치결정 정밀도가 큰 것이 특징.

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