키마크범위 - keymark zone

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

마스크 패턴을 웨이퍼에 전사(轉寫)할 때 사용하는 정렬 마스크를 구성하기 위한 마스크 위의 영역