고립결함 - isolated defect

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

패턴의 에지부분에서 떨어져 패턴 내에 존재하는 빔홀(beam hole)결함 및 패턴에서 떨어져 존재하는 핀스폿(pin spot)결함을 뜻함.