이온주입 장치 - ion implanter

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

운동에너지를 갖고 있는 이온을 쏘아, 시료의 물성을 제어하기 위한 장치. 이온원․인출전극계(系)․질량분석계․주입실 등으로 구성된다.