이온빔 스퍼터링 장치 - ion beam sputtering system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

고진공 분위기 내에 있는 타겟에, 독립된 이온원(ion源)으로부터 만들어진, 높은 에너지로 가속된 이온빔을 충돌시켜, 10-2Pa이하의 낮은 가스압력에서 막을 성장시키는 장치.