기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'
인터널게터링 내부게터링 IG - internal gettering intrinsic gettering
작성자:
MidasIT 반디통
| 2021. 8. 5 오후 3:00:00
Si 웨이퍼의 내부에 분포된 고밀도의 미소결함을, 오염불순물과 점결함 등을 포획하는 거점으로써 이용하는 게터링방법.
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