인터페이스 장치 - interface unit

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

X, Y, Z방향으로 반송하고, 반송레벨을 조정하는 장치. 이것으로 도포․현상장치와 노광장치를 연결해, 도포-노광현상공정을 인라인(inline)화할 수 있다.