기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

유도결합 플라즈마 식각장치 - inductively coupled plasma etching system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00
고주파유도자기장에 의해 발생되는 유도전계에 의해 전자가 가속되는데, 이것에 의해 생성되는 플라즈마를 이용한 플라즈마식각장치. 유도결합 안테나의 모양에 따라, 기둥모양 코일(도시)과 평판 모양의 코일이 있다.