기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

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작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00
sender, receiver의 총칭. 동일한 카세트를 이용하는 마스크, 웨이퍼 등의 기판수납위치가 변하지 않는 유니카세트방식도 있다.