기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'
불순물포획 - impurity trap
작성자:
MidasIT 반디통
| 2021. 8. 5 오후 3:00:00
Si 웨이퍼의 게터링작용으로, 알칼리 금속과 중금속 불순물을 포획하는 것.
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