기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'
침적식 식각장치 - immersion wet etching system
작성자:
MidasIT 반디통
| 2021. 8. 5 오후 3:00:00
식각용액을 넣은 수조에 웨이퍼를 침적(immersion)시켜 식각하는 장치.
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