기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'
조명계 - illumination system
작성자:
MidasIT 반디통
| 2021. 8. 5 오후 3:00:00
마스크(레티클)에 노광광속(光束)을 주기 위한 광학계 및 장치.
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