수소처리 웨이퍼 - hydrogen annealed wafer

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

고순도 수소분위기하에 열처리한 Si웨이퍼. 반도체소자형성영역이 웨이퍼표면부의 산소를 바깥으로 확산시켜, 표층의 산소농도를 크게 낮춤과 동시에 결함핵(缺陷核)도 용해하여, 이상적인 DZ층을 형성시켜 반도체소자제조의 수율향상시킨 Si웨이퍼