불산회수장치 - hydrofluoric acid regenerator

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

에칭, 세정 등의 공정에 사용된 짙은 농도의 불산폐액을 입자 모양의 탄산칼슘에 접촉시켜, 불화칼슘으로 변환시켜 회수하는 시스템. 반응식은 2HF+CaCO3=CaF2+CO2+H2O 회수된 불화캴슘은, 불산제조의 원료로써 사용할 수 있다.