고온판오븐 - hot plate oven

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

표면처리를 실시한 평탄한 금속판 위에 웨이퍼를 가열하는 장치. 금속판의 아래에는 히터가 부착되어 있고, 주변에는 배기구멍을 가지고 있는 것이 일반적이다.