핫 척 히트업스테이지 - hot chuck heat up stage

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

프로브 등으로 각 칩의 고온환경에서의 전기특성을 측정가능하도록 웨이퍼를 가열하고 유지하는 부품. 저온환경에서 하는 것을 쿨 척, 일정한 온도환경에서 하는 것을 항온 척이라고 한다.