고전압 터미널 - high voltage terminal

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

이온에너지를 높이기 위해, 접지전위보다 높은 가속전압이 인가된 터미널. 후단가속방식을 채용하는 이온주입장치에 있어서는, 가스도입계, 이온원 및 질량분석계가 포함된다.