기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

고압 열산화장치 - high pressure thermal oxidation furnace

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00
고압 분위기에서 산화하는 장치. 보통의 열산화에 비교하여 산화온도의 저온화, 산화시간단축이 가능하다.